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隨著科技巨頭如蘋果（Apple）積極打造綠色供應鏈以實現碳中和，晶片代工龍頭台積電也不甘示弱，致力於開發綠色製程的新解決方案。其中，台積電以「淨零液體排放」為目標，正引領業界在製程機能水系統、特殊廢液處理和再生水處理等領域開創新商機。
根據分析師指出，半導體濕製程所需的化學品種類繁多，其中液體佔據了約90%。例如，顯影劑中的四甲基氫氧化銨（TMAH）等有機溶劑，可以通過先進的回收技術（如蒸餾）和特殊回收設備進行處理，達到一定純度後再進行轉售。隨著碳稅政策的實施，這進一步促使業者加大在回收技術和設備上的投資。
台積電在這一領域的合作夥伴包括兆聯、華漢等再生水回收專家。這些協力廠商對半導體製程所需的各類管線材質和回收工藝非常熟悉，並與台積電保持緊密合作。山林水總經理吳人傑透露，山林水專注於處理民生廢水，近期已成功中標高雄楠梓再生水廠BTO案，預計到2028年，該廠將通過南科管理局供應台積電再生水。
吳人傑指出，民生廢水回收後需要經過多道處理程序才能進入晶圓製程，因此必須依賴專業的製程水系統廠商。隨著台積電在海外擴廠，這類系統廠商在新廠建設中早期導入服務，將有助於其業務向國際市場拓展，從而成為台積電海外建廠的受益者。
業界人士也指出，工業用水可分為超純水、中段製程的回收水及末段的廢水處理。在半導體製程中，隨著從鋁製程、銅製程到最先進的鈷製程，回收水的處理難度顯著提升。
除了兆聯，信紘科和友達旗下的友達宇沛也正從既有廠務延伸出新業務，專注於再生水處理服務。信紘科自2012年起與台積電合作，開發二氧化碳和氨氣等機能水清洗設備，取代含危害物質的舊有清洗方法。該公司今年也在日本設置辦事處，以滿足客戶對綠色製程的需求。
